这份省科奖答辩PPT围绕半导体高纯电子特气与高端光刻胶国产化技术攻关，契合省科奖评审对卡脖子技术突破、产业化落地成效、产业链带动与经济社会效益的评判标准。
紧扣集成电路自主可控战略，针对传统纯化工艺纯度不足、光刻胶研发依赖试错、国产材料产线验证难等行业痛点，构建材料、工艺、设备一体化全链条创新体系。
开发多级耦合纯化工艺，将金属杂质控制精度由ppb级提升至ppt级；搭建分子模拟协同设计平台，完成光刻胶从经验试错到理性设计的模式革新；首创材料-工艺-设备协同验证方案，缩短国产半导体材料导入周期。
成果已在头部晶圆厂规模化应用，高纯电子特气稳定量产供应，KrF 光刻胶实现高端产线零的突破，有力完善本地半导体配套产业链，具备显著产业价值与推广前景。
