116页PPT,看懂SEM扫描电镜!

SEM并非直接“看到”样品，而是用高能电子束轰击样品表面，通过收集激发的物理信号来成像。日常最常用的是二次电子（SE），它主要来自样品极表层（约5-10nm），对表面起伏极其敏感，因此能提供景深极大、立体感极强的表面形貌图像，是观察断口、纳米颗粒的首选。

而背散射电子（BSE）来自更深层，其信号强度与样品的原子序数正相关（原子序数越大，图像越亮），这被称为“成分衬度”。利用BSE，无需打能谱就能直观地在图像上分辨出多相材料中不同成分的分布区域。

现代SEM通常标配能谱仪（EDS），通过收集特征X射线来实现“形貌+成分”的同步分析（点扫定成分、线扫看过度、面扫看分布）。但在实操中，制样往往决定了最终的成像上限。

SEM要求样品必须干燥且在真空中稳定，最致命的问题是“荷电效应”——如果不导电的样品（如高分子、陶瓷、生物组织）未经处理直接观察，表面会积累电荷导致图像漂移或出现耀眼的白斑。

因此，针对非导电样品，测试前必须进行喷金或喷碳处理（看形貌多喷金，打能谱测轻元素多喷碳），并在样品台边缘涂抹导电胶，以确保良好的接地导电性。