西交大牵头,检测限达ppt级!又一“首台国产质谱仪”成功交付

核心突破：攻克材料检测的“超级显微镜”

辉光放电质谱仪（GD-MS）被业界誉为探查固体材料的“超级显微镜”，是高端制造业不可或缺的精密分析仪器。

超高检测限： Sparkle型高分辨辉光放电质谱仪具备低至ppt（万亿分之一） 级别的超高痕量检测限。

应用场景： 在集成电路、芯片制造等对纯度要求极苛刻的产业中，基体材料中哪怕混入痕量杂质都会引发晶格缺陷导致芯片失效。该仪器的成功落地，为超高纯材料杂质的精准定量提供了自主可靠的硬核工具。

解决痛点：赋能终端用户与保障供应链安全

长期以来，国内辉光放电质谱仪市场几乎被国外厂商把持，不仅采购与维修成本极其高昂，还存在“卡脖子”的技术隐患。此次首台商用机的交付，为行业带来了实质性的利好：

降低检测成本：直接解决了如科荟测试等国内检测机构及相关企业设备受制于人的痛点，大幅降低了设备采购与长期运维成本。

提升检测效率：现场运行反馈显示，设备出数据快、运行稳定，全面提升了高纯材料及集成电路材料的质量检测效率。

筑牢安全防线： 通过实现检测装备的自主可控，有力保障了我国在战略材料领域的供应链安全与底层数据安全。

性能验证：关键技术100%自主可控

据现场验收结果显示，本次交付的Sparkle商用机型在整机调试后，其丰度、灵敏度等十余项核心关键指标均一次性通过验收，检测精度完全达标，环境适应性与可靠性得到充分验证。

该仪器的成功，是典型的“产学研用”深度融合的结晶。研发攻关团队由西安交通大学牵头，联合了国内多家顶尖院所与企业共同参与，涵盖了从整机研发、工程化、标准物质研制到分析方法开发的全链条：

参与科研院所：西北核技术研究院、中国科学院上海硅酸盐研究所、中国计量科学研究院、北方工业大学等。

参与企业：坤元仪器（天津）有限公司、钢研纳克检测技术股份有限公司、国合通用测试评价认证股份公司等。

通过多方协同攻关，该项目最终实现了关键零部件100%国产化，关键技术100%自主可控，性能指标直指国际先进水平。