省科学技术奖答辩PPT——高端装备核心光刻材料设计与规模化制备技术(附源文件)

一、以国家战略需求为核心锚定项目价值

立足高端装备核心光刻材料进口依赖现状，聚焦半导体、集成电路等产业升级需求，明确突破设计与规模化制备技术、实现自主可控的核心目标，凸显项目保障国家重大工程落地的战略意义。

二、以卡脖子问题为导向明确攻关方向

针对光刻材料设计调控能力不足、上下游协同薄弱等痛点，提炼分子级精准设计、规模化制备低效等关键难题，为后续技术攻关指明方向，凸显项目破解产业供应链安全风险的必要性。

三、以创新研究内容构建完整技术链条

围绕核心目标展开三大研究：一是建立高纯度原料纯化与质控体系，保障材料性能；二是研发先进光刻胶配方与工艺，破解控制与成本痛点；三是突破高纯电子材料规模化技术，打通实验室到工业化量产的瓶颈。

四、以特色创新强化核心竞争力

创新采用量子化学模拟 - 分子动力学 - 实验验证一体化设计，建立 “结构 - 性能 - 工艺” 联动体系，突破光刻胶树脂高分辨率与低缺陷率平衡难题，形成区别于国外技术路径的自主可控核心优势。

五、以扎实基础与清晰规划保障成果落地

依托成熟研发团队与国际验证成果，构建从材料研发到规模化供应的全链条体系，预期实现超纯规模化制备、深度兼容进口光刻机等目标，为先进制程芯片等领域提供关键材料支撑，推动产业自主可控。